電子廠車間廢氣處理設(shè)備工藝是利用催化燃燒的方法，將的氣體轉(zhuǎn)化為低毒的氣體。該裝置主體結(jié)構(gòu)，由凈化裝置主機(jī)、引風(fēng)機(jī)、控制系統(tǒng)三大部分組成。其中催化燃燒凈化裝置包括：除塵阻火器、熱交換器、預(yù)熱器、催化燃燒室。
　　電子廠車間廢氣處理設(shè)備是在催化劑的作用下，將VOCs在200～400℃的低溫條件下分解為CO2和H2O，是凈化碳?xì)浠衔锏葟U氣、清理惡臭的手段之一。在廢氣特別是回收價(jià)值不大的廢氣凈化方面，比如化工、噴漆、絕緣材料、漆包線、涂料生產(chǎn)等行業(yè)應(yīng)用較廣。設(shè)備性能穩(wěn)定，能達(dá)到預(yù)期的效果。吸附床經(jīng)過一段時(shí)間的運(yùn)行后會(huì)達(dá)到吸附飽和。
　　將廢氣直接引入電子廠車間廢氣處理設(shè)備，在開始階段需通過電加熱器將其溫度升高至反應(yīng)需要的溫度，廢氣在催化催化劑作用發(fā)生氧化放熱反應(yīng)生成沒有危害的H2O和CO2，分解后釋放出的熱量通過熱交換器加熱進(jìn)入催化床的廢氣，當(dāng)廢氣的濃度達(dá)到相應(yīng)的濃度時(shí)，放熱和熱交換所需要熱量達(dá)到平衡，無需電加熱，通過自身平衡處理掉濃度好廢氣。
　　電子廠廢氣處理成套設(shè)備借助催化劑可以使廢氣在較低的起燃溫度條件下，發(fā)生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時(shí)放出大量熱。焚燒爐的運(yùn)行能耗主要是電和燃料。一旦設(shè)備定型了，電耗基本恒定，風(fēng)機(jī)可采用變頻控制省電，這里不做討論，主要討論燃料問題。因廢氣量不穩(wěn)定、濃度不穩(wěn)定，加上車間廢氣控制不好，所以在啟動(dòng)及運(yùn)行過程中，需要經(jīng)常補(bǔ)充燃料（常用柴油、燃?xì)猓┮跃S持燃燒室溫度。燃料消耗多少，關(guān)鍵取決于蓄熱陶瓷的蓄熱能力，通常以能夠維持正常運(yùn)行而不需補(bǔ)充燃料所需的較低VOC濃度來衡量能耗高低。此數(shù)值越低，則能耗越低。有力的的rto焚燒爐此數(shù)值可達(dá)450×10-6mg/L。另外，能量損耗主要是尾氣帶走的熱量和表面散熱損失，尾氣帶走熱量與廢氣量和進(jìn)出入口溫差相關(guān)，尾氣溫度越低、進(jìn)出入口溫差越大，則能耗越低。表面散熱損失體現(xiàn)在箱體表面溫度與環(huán)境的溫度差，保溫效果不錯(cuò)則溫差小，散熱損失小。當(dāng)然，能耗還有可能跟局部地方保溫薄弱及高溫氣體泄漏有關(guān)。
電子廠車間廢氣處理設(shè)備的燃燒方法及氧化反應(yīng)如下：
　　一、起燃溫度低，能耗少，燃燒易達(dá)穩(wěn)定，甚至到起燃溫度后無需外界傳熱就能完成氧化反應(yīng)。
　　二、適應(yīng)氧濃度范圍大，噪音小，無二次污染，且燃燒緩和，運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用不高，操作管理也很方便。
　　三、有用物質(zhì)氧化發(fā)生在固體催化劑表面，同時(shí)產(chǎn)生CO2和H2O，并放出大量的熱量，因其氧化反應(yīng)溫度低，所以地控制了空氣中的N2形成高溫NOx。
　　四、蓄熱燃燒是典型的氣-固相催化反應(yīng)，它借助催化劑降低了反應(yīng)的活化能，使其在較低的起燃溫度200～300℃下進(jìn)行無焰燃燒。
　　五、凈化速率不錯(cuò)，污染物（如NOx及不全部燃燒產(chǎn)物等）的排放水平較低。
　　六、而且由于催化劑有選擇性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物（RNH）的氧化過程，使其多數(shù)形成分子氮（N2）。
　　電子行業(yè)廢氣處理設(shè)備是一種能改變化學(xué)反應(yīng)速度，而在反應(yīng)前后其本身的化學(xué)性質(zhì)沒有改變的物質(zhì)。電子廠車間廢氣處理設(shè)備通常是由催化活性材料和催化載體構(gòu)成。催化活性材料一般是金屬或金屬氧化物。其中貴重廢氣處理設(shè)備主要有鉑、鈀和釕等，普通金屬廢氣處理設(shè)備主要有銅、鉻、鎳、釩、錳、鐵、鈷等金屬及氧化物。催化載體是多孔材料，主要作用是使活性材料具有大的體表面積。
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